VM-L3U


高解析、高精度的精密模具、沖壓五金、切割刀具,或檢驗晶片和集成電路等超微型半導體/電子元件。

德國HEIDENHAIN光學尺,解析度可達0.0001mm。

工作臺行程可選:200mmX100mm、300X200mm、400X300mm。

搭配日本NIKON金相光學鏡頭系統,提升最高影像解析效果。

依照不同需求,提供明視野、暗視野、偏光、DIC裝置

高NA值鏡頭,光學倍率50X、100X、200X、500X、1000X

高倍率鏡頭可做金相分析使用

Z軸設計雙階段調節,高度或深度測量,精確度可到3um內。


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