VM4530/L3U

高解析、高精度的精密模具、沖壓五金、切割刀具，或檢驗晶片和集成電路等超微型半導體/電子元件。

德國HEIDENHAIN光學尺，解析度可達0.001mm。

工作臺行程:450X300mm。

搭配日本NIKON金相光學鏡頭系統，提升最高影像解析效果。

依照不同需求，提供明視野、暗視野、偏光、DIC裝置

高NA值鏡頭，光學倍率50X、100X、200X、500X、1000X

高倍率鏡頭可做金相分析使用

Z軸設計雙階段調節，高度或深度測量，精確度可到3um內。